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삼차원측정기
Specifications
장비특징
대형 측정기 1대

챔버 등 중, 대형물
X
1500
Y
1500
Z
1500
⊙LEAK DETECTOR 도입 운영 (한국 Varian 외)
⊙Roughness Gage 도입 운영 (Mitutoyo)
⊙배율 200X 현미경으로 S/Head Hole 검사 가능(Nikon)

1. 난형상의 제품 측정 및 품질관리 가능
2. 형상공차에 대한 품질관리 가능
3. 자동 Program작업으로 해당제품 전수검사 가능
4. 용접물에 대한 Leak Test로 완벽품질 확보
5. Roughness Gage도입으로 고객 요구 만족
6. S/Head Hole 검사(미세 Burr관리)
중형 측정기 2대

S/Head 등 소형물
X
800
Y
1200
Z
700
 
VARIAN LEAK DETECTOR
Specifications
장비특징
Atm cc/sec헬륨

5-10-12

Mbar-liters/sec헬륨

5-10-12

Pa-m /sec헬륨

5-10-13
port pressure Maximum test
10 torr/13 mbar/1330 Pa

Response time

0.5 seconds
높은 테스트 포트 압력의 큰 누수 탐지에 대 한 허용
5 x 10 ^12 MDL (감도) 가장 엄격한 누설 테스트 요구 사항을 충족 높은 헬륨 펌핑 속도 빠른 시스템 응답 및 정리 시간을 보장 합니다.
새로운 고효율 이온 소스 및 빔 광학 감도 및 대량 분리 최적화
 
NIKON _ MULTI-PURPOSE ZOOM MICROSCOPE
Specifications
장비특징

Total Magnification

5x to 400(6.25x500)

Zoom Range

1 to 8(zoom ratio:8:1)

Inckination angle

0˚ to 30˚

Interpupillary adjustment range

50 to 75mm

Stage

350 x 350mm steoke
Zoom Microscope
- 반도체,OLED장비 중점관리항목
GAS HOLE 내부현상을 상세
검사가 가능함.
 

Mitutoyo _Portable Surface Roughness Tester
Specifications
장비특징

이송거리

12.5mm

측정범위

300㎛(±150㎛)

촉침부위

팁 반지름:5㎛/2㎛*

측정 파라메타

Rz,Ry,Rz,Rt,Rq,Sm,S,Pc,R3zmr
-휴대형으로 필요에 따라 어디서든 쉽게 측정가능
-기본적인 Ra,Rq,Rz,Ry파라메터를 포함한 19가지
분석
-RS-232C 인터페이스를 통해 컴퓨터 또는 기타
외부 장치로 데이터 전송 가능
 
BLUEBIRD _Ultrasonic Thickness Gauge
Specifications
장비특징

측정범위

1.2 ~ 225.0mm

측정오차

±1%, ±0.1mm

최소측정사이즈

￠20*3mm(철)

Sound Velocity Range

1000~9000㎧

동작주파수

5㎒

- 재료의 음속을 미리 설정하고, 재료 안의 펄스 전파 시간을 두께로 환산하여 디지털 값으로 표시.

- 재질의 부식 및 구멍난 곳을 정확히 측정.
 
비접촉3차원 측정기
Specifications
장비특징
최대측정크기
X
1000
Y
800
Z
130
 
CLEAN ROOM
Specifications
장비특징
◇ 10,000 Class급에 1,000 Class급 부스 운영
◇ 반도체 공정의 Particle Issue 제품 전용관리